成果信息
本項目是為了解決光電器件最好襯底材料之一藍(lán)寶石襯底材料拋光液在拋光過程中存在的襯底片表面去除速率低、粗糙度高,、易劃傷等問題，而研發(fā)一種化學(xué)作用強,、去除速率快,、表面粗糙度低、無劃傷,、成本低,，且不污染環(huán)境及腐蝕設(shè)備的藍(lán)寶石襯底材料拋光液及制備方法。本項目采用具有自主知識產(chǎn)權(quán)的多功能螯合劑作為pH調(diào)節(jié)劑,同時又可起到緩沖劑,、磨料穩(wěn)定劑,、絡(luò)合及螯合的作用，實現(xiàn)反應(yīng)劑一劑多用，降低成本,。經(jīng)20多家中外企業(yè)使用表明,，該拋光液性能穩(wěn)定、速率快,，可一次或循環(huán)使用,，目前可批量生產(chǎn)和應(yīng)用。加工去除速率>5μm/h,，表面粗糙度可降至Ra:0.1～0.3nm,。)
背景介紹
藍(lán)寶石擁有極好的介電特性、電氣特性和優(yōu)異的光學(xué)透明性及機(jī)械性能,，且耐化學(xué)腐蝕,、抗輻射，可用作紅外和微波窗口系統(tǒng),、發(fā)光二極管（LED）,、激光二極管（LD）、紫外線至近紅外光用光透射窗口,、精密耐磨軸承等高技術(shù)領(lǐng)域中的零件制造材料,，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、國防,、航天航空和科研等領(lǐng)域,。但是其脆性大，硬度高,，機(jī)械加工困難,，無損傷超光滑表面制備技術(shù)則更加復(fù)雜。)
應(yīng)用前景
隨著光電技術(shù)的飛速發(fā)展,，光電產(chǎn)品對藍(lán)寶石襯底需求量日益增加,，開發(fā)新型的拋光液及拋光技術(shù)，提高光電器件用襯底加工質(zhì)量,，以推進(jìn)冷光源的應(yīng)用進(jìn)程及節(jié)能減排的有效實施,，并可用于國防、儀器儀表,、紅外窗口等領(lǐng)域,，因此，市場前景廣泛,，也可為國家光電子工業(yè)發(fā)展起到很好的促進(jìn)作用,，具有廣闊的應(yīng)用前景。)
主辦單位： 郴州市科學(xué)技術(shù)局
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