成果信息
本項目創(chuàng)新性地研制MEMS集成壓力/拉力/位移檢測的多功能,、高分辨率,、和高靈敏度的微納電子傳感器芯片（Micro/Nano-electronic Sensor Chips）,，將填補國際上在微納尺度應(yīng)用于多功能傳感檢測的空白。本產(chǎn)品系利用微機電系統(tǒng)（MEMS）設(shè)計和加工技術(shù)的特殊優(yōu)勢,，借助UV-LIGA（光刻,、電鑄）技術(shù)，通過可變電容和機械式正弦形彈簧相結(jié)合的方式實現(xiàn)微納MEMS傳感芯片的大規(guī)模制備,。該新型傳感器通過可變電容和機械式正弦形彈簧相結(jié)合的方式測量微力和位移,，操作方便，價格低廉,，精度高,，發(fā)展前景好，市場潛力大,。主要創(chuàng)新點：本項目的特色是將彈簧結(jié)構(gòu)和能夠精確測量位移的梳齒狀差分式電容有機結(jié)合,，采用微探針載力結(jié)構(gòu)，利用三維非硅LIGA技術(shù)完成器件制備,，并集成電容采集及控制電路,，制備出大量程、毫牛級、同時能夠測試微納米級別位移的綜合性微拉力/壓力/位移傳感器,。)
背景介紹
目前商用高端微型傳感器應(yīng)用方面,，市場上采用的微拉力、壓力,、位移傳感器主要是國外的產(chǎn)品,，這些產(chǎn)品不僅價格昂貴，并且進行技術(shù)壟斷,，國內(nèi)很難掌握其核心技術(shù),。本項目可創(chuàng)造出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MEMS微型傳感器芯片，而且在低成本制作高端傳感器方面提高可靠的技術(shù)路線和工藝,。該產(chǎn)品由MEMS工藝制備,，不但具有傳統(tǒng)電容式傳感器的測量范圍大、靈敏度高,、響應(yīng)快和穩(wěn)定性好等優(yōu)點,，而且具有體積小、功耗低的優(yōu)勢,。)
應(yīng)用前景
MEMS傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子,、航空、消費電子,、防御系統(tǒng),、工業(yè)控制、醫(yī)療生命科學(xué)和通信等領(lǐng)域,。微納MEMS多功能傳感器系列產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于高精度工業(yè)自動化,、液位傳感設(shè)備、高精度電子天平等的高端市場和醫(yī)療電子器械,、汽車中的傳感器等,，根據(jù)不同的應(yīng)用可相應(yīng)設(shè)計和優(yōu)化一個產(chǎn)品的系列，滿足市場上對量程和精度的需求,，具有廣闊的市場前景,。)
主辦單位： 郴州市科學(xué)技術(shù)局
技術(shù)支持： 長沙諾為信息技術(shù)有限公司
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