成果信息
采用堿性介質(zhì)下化學(xué)作用為主的技術(shù)路線,，為解決現(xiàn)有酸性漿料存在的七大技術(shù)難題，研制出用低粒徑分散度,、硬度適中,、高濃度,、易清洗的SiO2水溶膠為磨料的堿性拋光液,?？捎行Ы档蜋C械強度，大幅度提高化學(xué)機械超精密加工精度和高速率,，且簡化工藝,、降低成本、提高拋光液的商品競爭力,，達到高效益,。自主合成的微電子專用螯合劑有高達28個能給予電子對的原子, 即有12個氮原子和16個氧原子, 它與金屬離子能形成23個五元環(huán)，成為一類最穩(wěn)定螯合物, 它有效地和所有金屬離子形成穩(wěn)定絡(luò)合物,。因為它是胺鹽, 在水中溶解度很大,，克服了EDTA溶解度小、不穩(wěn)定的弱點,；又克服了二鈉鹽有堿金屬鈉離子, 適用于微電子等特點,；并且螯合環(huán)數(shù)也大大增加。利用優(yōu)先吸附的數(shù)學(xué)模型有效將新加工表面的高能狀態(tài)降低為低能狀態(tài),，使得顆粒等污染物在表面長期控制在易清洗的物理吸附狀態(tài)（>168小時）,，而不向難清洗的化學(xué)吸附狀態(tài)轉(zhuǎn)化，并在表面形成保護層,，防止污染物的二次吸附,，實現(xiàn)了把有害吸附轉(zhuǎn)化為無害吸附，是拋光,、清洗工藝中不可缺少的添加劑,。)
背景介紹
堿性拋光液與清洗劑及其技術(shù)，是新型低排放環(huán)保節(jié)能清洗技術(shù),，綜合了電化學(xué)氧化與化學(xué)活性劑的優(yōu)勢,，實現(xiàn)多行業(yè)多領(lǐng)域的清洗要求，是未來清洗行業(yè)的發(fā)展方向之一,。)
應(yīng)用前景
該技術(shù)可以應(yīng)用于要求最高的微電子,、光電子等高新技術(shù)領(lǐng)域清洗，還可以應(yīng)用航空,、航天,、機械、汽車,、輕工,、化工、石油等30多個領(lǐng)域,，數(shù)萬種產(chǎn)品,，應(yīng)用領(lǐng)域非常廣闊,，具有良好的市場前景。)
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