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成果信息

本實(shí)用新型提供一種聲表面波傳感器復(fù)合敏感膜的制備裝置，包括出口對(duì)準(zhǔn)聲表面波器件的表面的至少兩個(gè)氣噴霧沉積裝置,，不同的氣噴霧沉積裝置中填裝不同材料的溶液，所有氣噴霧沉積裝置在一個(gè)聲表面波器件的表面上同時(shí)沉積多種材料,，獲得復(fù)合敏感膜,。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：使用本實(shí)用新型的裝置可制備出傳統(tǒng)溶液法所不能制備出的復(fù)合敏感膜。)

背景介紹

本實(shí)用新型提供一種聲表面波傳感器復(fù)合敏感膜的制備裝置,，包括出口對(duì)準(zhǔn)聲表面波器件的表面的至少兩個(gè)氣噴霧沉積裝置,，不同的氣噴霧沉積裝置中填裝不同材料的溶液，所有氣噴霧沉積裝置在一個(gè)聲表面波器件的表面上同時(shí)沉積多種材料,，獲得復(fù)合敏感膜,。)

應(yīng)用前景

本實(shí)用新型提供一種聲表面波傳感器復(fù)合敏感膜的制備裝置，包括出口對(duì)準(zhǔn)聲表面波器件的表面的至少兩個(gè)氣噴霧沉積裝置,，不同的氣噴霧沉積裝置中填裝不同材料的溶液,，所有氣噴霧沉積裝置在一個(gè)聲表面波器件的表面上同時(shí)沉積多種材料，獲得復(fù)合敏感膜,。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：使用本實(shí)用新型的裝置可制備出傳統(tǒng)溶液法所不能制備出的復(fù)合敏感膜,。)