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成果信息

激光加工制造的一個(gè)重要發(fā)展方向是基于超短脈沖激光源的激光精密加工技術(shù),，由于脈沖極短、峰功率極高,，可實(shí)現(xiàn)高精密冷加工,，加工精度可達(dá)納米與微米量級(jí)，其應(yīng)用遍及微電子、微機(jī)械和微光學(xué)加工等,，例如：（1）微米量級(jí)的光滑微孔加工,，（2）材料表面納米級(jí)改性技術(shù)，（3）高純度,、粒度均勻分布的納米顆粒制造,，（4）線寬小于100nm的掩膜板制備，（5）高密度信息的寫入存儲(chǔ),，（6）半導(dǎo)體晶圓的精密劃片,，（7）復(fù)雜微結(jié)構(gòu)加工與制作等，涵蓋國(guó)防,、航空航天,、信息、納米,、醫(yī)學(xué)和生物工程等廣泛領(lǐng)域,。激光微納加工與數(shù)控技術(shù)相結(jié)合，已成為當(dāng)今工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域最活躍的技術(shù)方向,。)

背景介紹

激光加工制造技術(shù)是先進(jìn)加工制造技術(shù)的重要內(nèi)容和發(fā)展方向,，是實(shí)現(xiàn)制造業(yè)升級(jí)換代的高技術(shù)基礎(chǔ)，具有顯著優(yōu)勢(shì)：加工精度高,、加工效率高,、材料浪費(fèi)少、加工對(duì)象廣泛,、環(huán)境污染小等,。)

應(yīng)用前景

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