成果信息
多自由度精密位移平臺由壓電馬達驅動，包含傳感器,、驅動器和控制器等部件,，是精密儀器運動控制系統的核心部分,，也是精密加工設備、醫(yī)療設備,、微電子制造檢測設備,、測量儀器、印刷設備,、生物醫(yī)療設備,、自動化生產線的關鍵組件,。其壓電馬達具有高分辨率、小尺寸,、低能耗等特點,，其運動控制部分采用先進的EtherCAT（通用超高速以太網現場總線）方案，使系統不僅更簡潔,、更靈活,，還具有更好的實時性。與國外同類產品相比節(jié)省了成本且在性能和應用領域等方面具有很大優(yōu)勢,。)
背景介紹
待添加)
應用前景
本項目產品主要針對醫(yī)療設備,、精密測量設備和微納米加工市場，可應用于高端微電子裝備,、精密儀器儀表,、計算機、工業(yè)控制系統,、航空航天,、智能機器人等領域。)
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