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成果信息

納米級三維探針臺由壓電馬達驅(qū)動,，包含傳感器、驅(qū)動器和控制器等部件,，是精密儀器運動控制系統(tǒng)的核心部分,，其壓電馬達具有高分辨率、小尺寸,、低能耗,、穩(wěn)定性高、無返程空回等特點,。其運動控制部分采用驅(qū)控一體的壓電專用控制器,使系統(tǒng)不僅更簡潔,、更靈活，還具有更好的實時性,。)

背景介紹

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應用前景

本項目產(chǎn)品主要應用于電子,、光伏、材料,、醫(yī)療等行業(yè)的測試和微納米操作,。按測試樣品分類可進行晶圓測試、LED測試,、功率器件測試,、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試,、太陽能電池片測試,、材料表面電阻測試、納米器件測試等,；按應用分類可進行射頻測試,、高溫環(huán)境測試、低溫真空測試,、低電流（fA）測試,、I-v/c-v/p-iv測試、高壓大電流測試,、特殊氣體環(huán)境測試,、強磁環(huán)境測試、納米操作,、細胞穿刺等,。)