成果信息
發(fā)展了提高諧振頻率的新方法,，在新型諧振原理和高Q值的實現(xiàn)方面取得了實質(zhì)性突破,，制作了高諧振頻率（最高> 400 MHz）、高Q值（最高>1000）的圓盤諧振子,。研究了射頻微弱信號的高保真檢測方法,，研究了正反饋驅(qū)動和溫度補償方法，研制了高性能MEMS振蕩器,，為大規(guī)模制造可集成的高性能射頻微納諧振器件奠定了基礎,。)
背景介紹
高度集成化、小型化,、高頻率,、低功耗是未來無線通信系統(tǒng)發(fā)展的必然趨勢。射頻收發(fā)組件小型化的關鍵技術(shù)瓶頸是濾波器和振蕩器的性能限制,?；贛EMS諧振子的高性能射頻微納諧振器件是能取代基于陶瓷、石英等材料的片外振蕩器和濾波器的理想元件,。針對高性能射頻微納諧振器件的關鍵科學和技術(shù)問題進行了系統(tǒng)研究,。)
應用前景
在過去60年中，石英作為時鐘市場的主流技術(shù),，一直占據(jù)著霸主地位,。但由于其受到傳統(tǒng)制造工藝的限制以及下游原材料(起振電路和基座)市場的壟斷，因此性價比無法進一步提升,。為了滿足電子市場對元器件提出的更小,、更可靠、更靈活的需求,，時鐘組件必須走上全面硅化的道路,。與傳統(tǒng)石英相比，全硅MEMS振蕩器不管從生產(chǎn)工藝還是組件設計結(jié)構(gòu)上,，都更符合現(xiàn)代電子產(chǎn)品的標準,，也是對傳統(tǒng)石英產(chǎn)品的升級換代。 MEMS振蕩器已占據(jù)石英晶振中端產(chǎn)品的市場,，正在逐漸進入高端和低端產(chǎn)品市場,。)
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