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成果信息

MOCVD設(shè)備作為氮化鎵,、砷化鎵、磷化銦等化合物半導(dǎo)體外延材料研究和生產(chǎn)的重要技術(shù)手段,，特別是作為工業(yè)化生產(chǎn)的設(shè)備,，它的高質(zhì)量、穩(wěn)定性,、重復(fù)性及規(guī)?；瞧渌陌雽?dǎo)體材料生長(zhǎng)設(shè)備所無法替代的，是當(dāng)今世界上生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件材料的主要手段,。)

背景介紹

MOCVD （Metal Organic Chemical Vapor Deposition）材料生長(zhǎng)裝備,，即金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備，是化合物半導(dǎo)體外延材料研究和生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備,，特別適合化物半導(dǎo)體功能結(jié)構(gòu)材料的規(guī)?；a(chǎn)，是其它半導(dǎo)體設(shè)備所無法替代的核心半導(dǎo)體裝備,，是當(dāng)今世界上生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件材料的主要手段,，是當(dāng)今信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展、國(guó)防高新技術(shù)突破不可缺少的戰(zhàn)略性高技術(shù)半導(dǎo)體設(shè)備,。)

應(yīng)用前景

激光器,、探測(cè)器、發(fā)光二極管,、高效太陽(yáng)能電池,、光電陰極等光電子產(chǎn)業(yè)。 MOCVD系統(tǒng)的銷量將會(huì)隨著產(chǎn)品信譽(yù)度的提高而增加,，由于本項(xiàng)目擁有MOCVD關(guān)鍵技術(shù)的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),，該產(chǎn)品不僅可以在國(guó)內(nèi)銷售，還可以出口國(guó)際市場(chǎng),。)