成果信息
（1）本發(fā)明采用紅外熱成像的原理來檢測薄膜厚度均勻性,，整個(gè)檢測過程中,，待測薄膜只需要和加熱裝置接觸,，避免了薄膜在檢測過程中受到破壞,。紅外攝像裝置拍攝待測薄膜表面各個(gè)時(shí)刻的溫度分布,，對待測薄膜進(jìn)行在線實(shí)時(shí)檢測,； （2）在某一特定時(shí)刻t,，待測薄膜厚度變化百分之一,，則相應(yīng)的厚度也變化百分之一。不同薄膜材料的特定時(shí)刻t不同,，但是這一特定時(shí)刻t通常都是小于1秒,，因此可以快速檢測薄膜厚度均勻性； （3）利用紅外熱成像檢測薄膜厚度均勻性,，由于所有高于絕對零度的物體都會發(fā)出紅外輻射,，所以本發(fā)明在檢測厚度均勻性時(shí)不用考慮待測薄膜的材料是否導(dǎo)電、透明等問題,，適用于檢測任何材料的薄膜厚度均勻性,。)
背景介紹
薄膜具有良好的韌性、防潮性和密封性,，在生活和工業(yè)中的應(yīng)用十分廣泛,。隨著社會的發(fā)展，生活和工業(yè)中對薄膜性能的要求越來越高,，而薄膜的性能與其厚度均勻性有著密切的關(guān)系,。因此，對薄膜厚度均勻性進(jìn)行快速無損檢測是十分有必要的,。 目前薄膜厚度均勻性的檢測主要以薄膜厚度作為主要的檢測目標(biāo),，檢測薄膜厚度的方法主要有渦流、β射線,、光學(xué)法和紅外法等,。渦流法適用于導(dǎo)電金屬上的非導(dǎo)電層厚度測量；β射線法則有放射性,；光學(xué)法只能測量透明的薄膜,，這些方法都存在一定的局限性。相比以上幾種方法,，紅外法具有明顯的優(yōu)勢,，利用紅外熱成像法可以快速、無損檢測薄膜厚度均勻性,，由于所有高于絕對零度的物體都會發(fā)出紅外輻射,，所以該方法不受薄膜是否導(dǎo)電、是否透明影響。)
應(yīng)用前景
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