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成果信息

一種大口徑光學(xué)晶體表面微缺陷檢測用的圖像拼接方法,，涉及一種微缺陷檢測用的圖像拼接方法,。本發(fā)明為了解決目前的缺陷檢測中大口徑晶體的圖像采集和缺陷識別環(huán)節(jié)耗費(fèi)時間較長的問題。本發(fā)明首先對待側(cè)大口徑晶體元件表面區(qū)域進(jìn)行掃描,，并利用檢測顯微鏡和檢測CCD對掃描區(qū)域進(jìn)行實(shí)時圖像采集,，并確定單張圖片的尺寸范圍和重疊區(qū)域尺寸：然后基于坐標(biāo)系平移變換法實(shí)現(xiàn)采集圖像的拼接和缺陷點(diǎn)的坐標(biāo)轉(zhuǎn)換，確定每個圖像中每個缺陷點(diǎn)在全局坐標(biāo)系下的位置,，并建立缺陷數(shù)據(jù)庫,。本發(fā)明適用于光學(xué)晶體表面微缺陷檢測的圖像拼接。)

背景介紹

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應(yīng)用前景

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