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成果信息

本發(fā)明公開了一種基于力調(diào)制微刻劃/微壓痕過程制備拉曼增強基底上陣列微納米結(jié)構(gòu)的實驗裝置及方法,，所述實驗裝置包括XY向精密移動控制器,、Z向精密移動臺控制器、納米精度工作臺,、力傳感器,、金剛石探針、樣品,、宏動精密工作臺,，所述金剛石探針由納米精度工作臺經(jīng)過力傳感器帶動進行Z向的運動；金剛石探針與樣品之間的力信號由Z向精密移動臺控制器上下移動控制,；樣品由XY向精密移動控制器經(jīng)過宏動精密工作臺帶動在X,？Y平面內(nèi)做二維運動。本發(fā)明加工過程中探針連續(xù)進行微刻劃,、壓痕過程,，同時帶動樣件的工作臺作二維平動，實現(xiàn)高效,、大范圍的周期性陣列微納結(jié)構(gòu)的加工,；加工過程中探針的垂直載荷實時改變，實現(xiàn)復(fù)雜的微納結(jié)構(gòu)的加工,。)

背景介紹

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應(yīng)用前景

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