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成果信息

種二維解耦力矩觸覺傳感器,，包括玻璃基底和設(shè)于玻璃基底上的敏感塊;敏感塊水平的四個(gè)側(cè)面均依次設(shè)有角傳感基板、彈性梁和支撐側(cè)臺(tái),，角傳感基板的水平上表面設(shè)有上電極;玻璃基底內(nèi)與上電極相應(yīng)的位置均設(shè)有底部電極:上電極與相應(yīng)的底部電極形成平行板電容器;支撐側(cè)臺(tái)與玻璃基底固定連接;敏感塊受力矩可使角傳感基板發(fā)生角度偏移,，從而改變平行板電容器的電容值,。本發(fā)明的傳感器體積小，對(duì)于二維力矩的檢測的靈敏度高,。本發(fā)明的傳感器可通過四個(gè)上電極與其對(duì)應(yīng)的底部電極之間形成的四個(gè)平行板電容器的申容值的變化量的具體數(shù)值及大小關(guān)系可以實(shí)現(xiàn)傳感器對(duì)力矩大小的測量和方向的判別,。 )

背景介紹

種二維解耦力矩觸覺傳感器)

應(yīng)用前景

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