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成果信息

本發(fā)明公開了一種基于反?；魻栃?yīng)的靈敏度可調(diào)節(jié)的磁場傳感器件本發(fā)明從上到下依次為導(dǎo)電層,、絕緣層,、薄膜層,、緩沖層，所述導(dǎo)電層用于接入控制電壓,，從而調(diào)控薄膜層垂直各向異性的大小,，來調(diào)節(jié)磁性傳感器件的靈敏度;其中薄膜層和緩沖層經(jīng)過刻蝕微納加工成的結(jié)構(gòu)為十字結(jié)構(gòu)，所述的薄膜層由 CoFeB 和 MgO 構(gòu)成,，當(dāng)沿垂直于傳感器件厚度方向通入的控制電壓 Us 為一固定值時(shí),，傳感器件橫向兩電極通入恒定電流 I,檢測來自于和電流方向一致的外部磁場 H，而傳感器件縱向兩電極用于采集隨外部磁場變化的電壓,，從而實(shí)現(xiàn)對外部磁場的檢測,。本發(fā)明可以靈活選擇量程范圍，準(zhǔn)確測量外部磁場,。 )

背景介紹

本發(fā)明公開了一種基于反?；魻栃?yīng)的靈敏度可調(diào)節(jié)的磁場傳感器)

應(yīng)用前景

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